，請(qǐng)關(guān)特殊氣體，保留N2流動(dòng)，爐管保持在standby溫度，并查看是否有其它電源該關(guān)而沒(méi)有關(guān)，如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它，請(qǐng)隨手關(guān)掉。

　　6

、處理HF時(shí)，請(qǐng)戴手套，如不小心碰到HF時(shí)，請(qǐng)立刻沖水，用葡萄酸鈣加2%之水，揉擦傷處15'。真空氣氛電爐

　　7

、長(zhǎng)短推桿之前端，在還沒(méi)使用到時(shí)，請(qǐng)朝上以免污染。

　　8、晶片進(jìn)出爐口時(shí)

，承接boat的holder，請(qǐng)勿碰觸爐管口，以免污染爐管。

　　9

、石英玻璃制品請(qǐng)小心使用，以免破裂，引起嚴(yán)重割傷。

　　10、避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體

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　　11